Mikroelektromechaninių sistemų projektavimas

Knyga yra pirmasis bandymas lietuvių kalba glaustai pateikti mikroelektromechaninių sistemų projektavimo metodiką ir su ja susijusias žinias. Leidinyje nagrinėjama apibendrinta mikroelektromechaninių sistemų konstravimo metodologija, naudojama konstruojant elektrostatinius mikrovykdiklius, taip pat apžvelgtos pagrindinės mikrosistemų gamybos technologijos, pateikti metodiniai nurodymai ir praktinės rekomendacijos pereinant nuo mikrovykdiklio projekto prie technologinės įrangos (fotošablonų) bei technologinių modulių sekos projektavimo. Pavyzdžiais iliustruotas mikrovykdiklių modeliavimas ekvivalentinių schemų su sutelktaisiais elementais ir baigtinių elementų metodais. Autoriai tikisi, kad knyga bus naudinga ir įdomi ne tik šios srities studentams, bet ir platesniam elektroninių bei elektromechaninių sistemų konstruktorių ratui kaip pažintinė medžiaga bei parankus informacijos šaltinis.